在1976年左右開始了一系列的振鏡掃描儀設(shè)計和專利。這些早期的設(shè)計涉及了固定的鋁鎳鈷磁體和“動鐵”式轉(zhuǎn)子的使用。事實上，動鐵式振鏡在帶狀圖記錄器，激光娛樂顯示器，和早期的激光打標機上獲得了很好的商業(yè)上的成功。

激光打標的發(fā)展歷程就是打標控制系統(tǒng)和激光打標頭的發(fā)展過程。從1995年起，在激光打標領(lǐng)域就經(jīng)歷了大幅面時代、轉(zhuǎn)鏡時代和振鏡時代，控制方式也完成了從軟件直接控制到上下位機控制到實時處理、分時復(fù)用的一系列演變，如今，半導(dǎo)體激光器、光纖激光器、乃至紫外激光的出現(xiàn)和發(fā)展又對光學(xué)過程控制提出了新的挑戰(zhàn),振鏡式激光打標頭(振鏡式掃描系統(tǒng))是最新產(chǎn)品。1998年，振鏡式掃描系統(tǒng)在中國的大規(guī)模應(yīng)用。振鏡的設(shè)計思路完全沿襲電流表的設(shè)計方法，鏡片取代了表針，而探頭的信號由計算機控制的-5V—5V或-10V-+10V的直流信號取代，以完成預(yù)定的動作。同轉(zhuǎn)鏡式掃描系統(tǒng)相同，這種典型的控制系統(tǒng)采用了一對折返鏡，不同的是，驅(qū)動這套鏡片的步進電機被伺服電機所取代，在這套控制系統(tǒng)中，位置傳感器的使用和負反饋回路的設(shè)計思路進一步保證了系統(tǒng)的精度，整個系統(tǒng)的掃描速度和重復(fù)定位精度達到一個新的水平。

其工作原理是將激光束入射到兩反射鏡 （掃描鏡）上， 用計算機控制反射鏡的反射角度，這兩個反射鏡可分別沿 X、 Y 軸掃描，從而達到激光束的偏轉(zhuǎn)，使具有一定功率密度的激光聚焦點在打標材料上按所需的要求運動，從而在材料表面上留下永久的標記，聚焦的光斑可以是圓形或矩形。在振鏡掃描系統(tǒng)中，可以采用矢量圖形及文字，這種方法采用了計算機中圖形軟件對圖形的處理方式，具有作圖效率高，圖形精度好，無失真等特點，極大的提高了激光打標的質(zhì)量和速度。

同時振鏡式打標也可采用點陣式打標方式，采用這種方式對于在線打標很適用，根據(jù)不同速度的生產(chǎn)線可以采用一個掃描振鏡或兩個掃描振鏡，與前面所述的陣列式打標相比，可以標記更多的點陣信息，對于標記漢字字符具有更大的優(yōu)勢。

振鏡掃描式打標因其應(yīng)用范圍廣，可進行矢量打標和點陣打標，標記范圍可調(diào)，而且具有響應(yīng)速度快、打標速度高（每秒鐘可打標幾百個字符）、打標質(zhì)量較高、光路密封性能好、 對環(huán)境適應(yīng)性強等優(yōu)勢已成為主流產(chǎn)品，并被認為代表了未來激光打標的發(fā)展方向，具有廣闊的應(yīng)用前景。